一、過濾器的基本知識及其維護管理
1、過濾器的分類
按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）來劃分，通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六類過濾器。
我國國家標(biāo)準(zhǔn)《空氣過濾器》GB/T 14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下：
性能類別  額定風(fēng)量下的大氣塵限徑計數(shù)效率（E %）額定風(fēng)量下的初阻力（Pa）
粗效  ≥ 5.0μm  80 > E > 20  ≤ 50
中效  ≥ 1.0μm  70 > E > 20  ≤ 80
高中效≥ 1.0μm  90 > E > 70  ≤ 100
亞高效≥ 0.5μm  99.9 > E > 95≤ 150
國家標(biāo)準(zhǔn)《高效空氣過濾器》GB 13554-92中規(guī)定將高效過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超高效過濾器（或稱為0.1μm高效過濾器或超低透過率過濾器）。
性能類別    效率（E %）  額定風(fēng)量下的初阻力（Pa）
A 額定風(fēng)量下的鈉焰效率≥99.9≤190
B 額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量下的鈉焰效率≥99.99≤220
C 額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量下的鈉焰效率≥99.999≤250
D 額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量下的≥0.1μm粒子效率≥99.999≤280
2、過濾器的過濾機理
過濾機理主要有攔截（過篩）、慣性碰撞、布朗擴散和靜電等。
①攔截：即過篩。大于篩孔的粒子攔截下來被過濾掉，小于篩孔漏過去。一般對大粒子有作用，效率很低，是粗效過濾器的過濾機理。
②慣性碰撞：粒子尤其較大粒子隨氣流流動，作無規(guī)則運動。由于粒子的慣性或某種場力作用偏離氣流方向，不隨氣流運動，而與障礙物碰撞、粘住而被過濾掉。粒子越大，慣性越大，效率越高。一般是粗效和中效過濾器的過濾機理。
③布朗擴散：氣流中的微小粒子做無規(guī)則的布朗運動，與障礙物撞擊被鉤留粘住，而被過濾掉。粒子越小，布朗運動越強，與障礙物撞擊機會越多，效率越高。這也被稱作擴散機理。這是亞高效、高效和超高效過濾器的過濾機理。且纖維直徑越接近粒子徑效果越好。
3、過濾器的性能
過濾器性能一般包括過濾效率E；初阻力Hc；容塵量g。
①過濾效率 E = 被過濾器過濾掉的（捕集的）粒子量/未過濾前空氣中粒子總量×100%。
一般而言：≤0.1um粒子主要作布朗擴散運動，粒徑越小，效率越高。>0.5um粒子主要作慣性碰撞運動，粒徑越大，效率越高。0.1>d>0.5um之間的粒子其過濾效率有一個最低點，即最大穿透率的粒徑。
②初阻力Hc：氣流繞纖維運動產(chǎn)生微小阻力，無數(shù)微小阻力之和即濾料對空氣的阻力。過濾器的阻力與氣流速度有關(guān)，速度越大，阻力越大。過濾器的阻力分為初阻力（Hc）和終阻力（Hz）。初阻力（Hc）是過濾器器開始使用時額定風(fēng)量下的阻力。終阻力（Hz）是過濾器更換時的阻力。一般Hz = 2×Hc。
③容塵量g：過濾器到達終阻力時在濾料上所容納的灰塵重量。
4、濾速
濾速是指空氣垂直于濾料方向穿過濾料的速度。不是過濾器迎面風(fēng)速。濾速越大粒子慣性力越大，對粗、中效過濾器而言效率越高，但濾速越大，過濾器對空氣的阻力也越大。所以一般粗效過濾器濾速為1——2m/s，中效過濾器的濾速0.2——1m/s。濾速越大，不利于微小粒子的布朗運動，因此對高效、超高效過濾器的濾速一般控制在0.02m/s左右。
5、過濾器濾料和結(jié)構(gòu)形式
粗效過濾器的濾料一般為：玻璃纖維、化纖、無紡布等其結(jié)構(gòu)型式多為板式、折疊式和袋式。
中效過濾器的濾料一般為玻璃纖維、化纖、無紡布等其結(jié)構(gòu)型式多為袋式、楔形折疊式。
高效過濾器的濾料主要是超細(xì)玻璃纖維濾紙。結(jié)構(gòu)型式均為折疊式。有有隔板和無隔板之分。
6、過濾器的使用和更換
①過濾器的使用
粗效、中效、高中效、亞高效、高效、超高效6種過濾器各有各的用途，必須正確使用，如果使用不當(dāng)，不但不會起作用而且還會產(chǎn)生不良甚至相反的效果。因此，設(shè)計、建造和維護管理潔凈室的人員要特別注意。
粗效過濾器是作為預(yù)過濾器使用，一般是設(shè)置在空調(diào)箱內(nèi)，其作用是過濾大顆粒的粒子，以保護其后的空調(diào)設(shè)備（如表冷器和加熱器等）和中效以及更高級過濾器。一般粗效過濾器不能作為終端過濾器。
中效過濾器一般設(shè)在空調(diào)箱的正壓段，其作用是保護亞高效、高效過濾器等終端過濾器。它除去的是≥1.0um的中小粒子。一般情況下，中效過濾器是中間過濾器，不能做預(yù)過濾器用，也不能做終端過濾器。
高效和超高效過濾器都做為凈化系統(tǒng)的終端過濾器。一般放置在潔凈室的吊頂上。高效過濾器（HEPA）是潔凈室的必須的終端過濾器。而超高效過濾器是0.1um，10級、1級或更高級別潔凈室必須的終端過濾器。
②過濾器的更換
過濾器經(jīng)過一段時間的運行，當(dāng)過濾器的阻力達到其終阻力Hz時，一般情況下就要更換了，否則其性能就會下降，達不到應(yīng)起的作用，甚至?xí)绊懴到y(tǒng)的正常運行。對粗、中效過濾器而言，有一次性使用后廢棄的也有可清洗后繼續(xù)使用的，不過清洗后的粗、中效過濾器的阻力遠比其初阻力大，效率也有所提高。亞高效、高效和超高效過濾器都是一次性的，使用后就廢棄的。
二、潔凈室的發(fā)塵源和潔凈室的清掃
1、潔凈室的發(fā)塵源
對于潔凈室的塵源，除了來自室外大氣的塵粒和進入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外，潔凈室內(nèi)的發(fā)塵源主要來自于潔凈室內(nèi)操作人員，潔凈室的圍護和潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵。
①潔凈室內(nèi)作業(yè)人員的產(chǎn)塵。作業(yè)人員的產(chǎn)塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業(yè)人員本身的動作有關(guān)。因此，潔凈室內(nèi)的作業(yè)人員必須穿規(guī)定的工作服而且動作也要受到一定的限制。通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動作時，人員的產(chǎn)塵量為3.5 —— 5.0×105個/人•分（≥0.5?m）。是潔凈室內(nèi)的最主要的發(fā)塵源。
②潔凈室圍護和室內(nèi)表面的產(chǎn)塵。隨著潔凈室裝修材料的發(fā)展，耐磨、抗靜電、少產(chǎn)塵的材料出現(xiàn)，潔凈室內(nèi)建筑產(chǎn)塵量越來越小。一般認(rèn)為潔凈室單位建筑面積產(chǎn)塵為3 —— 5.0×104 /m2•分。可見10平方米建筑產(chǎn)塵只相當(dāng)一個作業(yè)人員的產(chǎn)塵量。
③生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵：這一產(chǎn)塵量與設(shè)備和生產(chǎn)過程本身有直接關(guān)系。不同設(shè)備、不同生產(chǎn)工藝的產(chǎn)塵量差別極大。在日本的資料介紹，一臺電動機的產(chǎn)塵量大約為4.5 —— 45×104個/臺•分。
2、潔凈室的清掃
①人工擦拭法：即人用潔凈室專用擦布和純水對潔凈室的地、墻、頂以及家具和設(shè)備表面進行擦拭。這種清掃方法較為徹底。
②分散式真空吸塵法：一般此方法只適用于低級別（1000級、10000級、100,000級）亂流潔凈室。方法簡單、靈活、方便，每天下班后均可采用此方法清掃。但由于移動式真空吸塵器內(nèi)的圓筒形高效過濾器的效率比較低（≥99.5%，≥0.5um），因此不適用在高級別的潔凈室。一般情況500m2潔凈室可設(shè)兩臺吸塵器，每增加500m2增加一臺，最多不超過10臺。
③集中式真空吸塵法：集中式真空吸塵是一個由吸塵口、管網(wǎng)、集中吸塵泵、除塵器組成的系統(tǒng)。吸塵泵和除塵器設(shè)在專門的機房內(nèi)，因噪聲極大，機房不但要遠離廠房和辦公區(qū)，而且還要適當(dāng)?shù)刈鞲袈曄曁幚?。吸塵泵應(yīng)有備用不應(yīng)少于2臺。集中式真空吸塵不會影響室內(nèi)的潔凈度，因此，集中式真空吸塵方法多用在級別較高（100級、10級、1級），面積較大的潔凈室中。